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发布日期:2021-01-07 00:00:00 浏览次数:

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    多线切割是切割大直径硅单、多晶棒非常有效的方法之一。
    多线切割中使用的是一种具有流动性的混合研磨剂——砂浆,其作用在切割过程中非常重要。砂浆是被往复运动的线带到切割区,被带入的砂浆量的多少以及切割速度的高低决定硅片的切割质量。增强beat365唯一官方网站该切割过程需要使用硬度高、粒度小并且粒径分布窄的碳化硅颗粒作为切割介质。而与碳化硅按比例加入的聚乙二醇(PEG),起到分散剂的作用,会使碳化硅在切割过程中分布均匀,并且聚乙二醇具备一定的热容,可以带走大量在切割过程中产生的摩擦热量,同时聚乙二醇的良好水溶性也便于后期硅片的清洗。

    增强beat365唯一官方网站线切割加工中,高速往复运动的切割线带动砂浆到切割区,使砂浆中的研磨颗粒——碳化硅与硅棒表面高速磨削,由于研磨颗粒有非常锐利的棱角,并且硬度远大于硅棒的硬度,所以硅棒与线锯接触的区域逐渐被砂浆磨削掉,进而达到切割的效果,同时砂浆也可以带走磨削中产生的大量热。
    增强beat365唯一官方网站一种硅晶圆线切割废砂浆中聚乙二醇和碳化硅的回收方法,其回收的聚乙二醇(PEG)和碳化硅能够达到硅晶片切割的要求,实现PEG和碳化硅多次回收循环利用,不仅能够增加原料液的使用率,降低晶硅片的制造成本,而且能够根本上避免废砂浆对环境造成的污染。
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