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多线切割是切割大直径硅单、多晶棒非常有效的方法之一。
多线切割中使用的是一种具有流动性的混合研磨剂——砂浆,其作用在切割过程中非常重要。砂浆是被往复运动的线带到切割区,被带入的砂浆量的多少以及切割速度的高低决定硅片的切割质量。增强beat365唯一官方网站该切割过程需要使用硬度高、粒度小并且粒径分布窄的碳化硅颗粒作为切割介质。而与碳化硅按比例加入的聚乙二醇(PEG),起到分散剂的作用,会使碳化硅在切割过程中分布均匀,并且聚乙二醇具备一定的热容,可以带走大量在切割过程中产生的摩擦热量,同时聚乙二醇的良好水溶性也便于后期硅片的清洗。